MEMS

该系列产品将传统导航激光雷达中的旋转装置芯片化，具有高分辨率、高可靠性、低成本、小尺寸、易集成等优势，主要应用于激光雷达、激光打印以及机器视觉等领域。

这项研究采用搭载了单片集成128 × 128像素MEMS FPSA（引线键合128 × 96子阵列，并经过了实验测试）的硅光子调频连续波（FMCW）成像激光雷达，最终分辨率达到16384像素。