基于硅纳米波导倏逝场耦合的超紧凑光学式MEMS加速度计 judy-- 周一, 12/26/2022 - 15:27 近些年，MEMS加速度计因其体积小、功耗低、易于与互补金属氧化物半导体晶体管集成电路（CMOS IC）整合而受到持续关注
