应对传统摩尔定律微缩挑战需要芯片布线和集成的新方法 judy-- 周一, 06/27/2022 - 15:44 应用材料公司已在5月26日的“芯片布线和集成的新方法”大师课上,进一步探讨了上述三个话题,同时我们也展示了材料工程和异构集成方面的创新,从而解决EUV微缩出现的电阻问题